Leuchten für die Fotolithographie

Die Fotolithografie ist eine Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik. Hierbei werden mittels der Fotolithografie Strukturinformation von einer sogenannten Fotomaske in einen Fotolack übertragen. Gelblicht spielt in diesem Prozess eine wichtige Rolle und ist in der Halbleiterfertigung essenziell. Unter herkömmlichem, weißem Licht würde sich der Fotolack innerhalb von wenigen Sekunden entwickeln und eine reproduzierbaren Lithographieprozess somit unmöglich machen. In unseren LED Leuchten für die Fotolithographie setzen wir spezielle LEDs im Wellenlängen Bereich von 590nm ein. Das strahlende Gelblicht sorgt dafür, dass ein Reinraum optimal und wirtschaftlich ausgeleuchtet wird und der Fotolackprozess beeinflusst wird. Durch unser hohes Maß an Flexibilität lassen sich unserer LED Leuchten kundenspezifisch an ihre Anforderungen von Reinraumbereichen anpassen.

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